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September 15, 2021

新 Quantum X shape:
精度・生産高・操作性の基準を新たに(Reshaping)

Quantum X shape ―ほぼすべての2.5Dまたは3D形状構造を設計できる自由度を備えたNanoscribeの新しい高精細3Dプリンタ
Quantum X shapeはNanoscribeの新しい高精細3Dプリンタです。ほぼすべての2.5Dまたは3D形状構造を自由に設計でき、最大のスループットで高品質な構造体を造形します。

Quantum X shapeは、ラピッドプロトタイピングやウェハスケールのバッチ生産のためのNanoscribeの新しい高精細3Dプリンタで、研究および産業プロセスにおける3D微細造形の可能性を最大限に引き出します。2光子重合(2PP)をベースとして、独自のプリンティング技術を備えたレーザ直接描画システムであり、2.5Dおよび3Dオブジェクトの微細造形を、サブミクロン精度で自由に設計できます。Quantum X shapeによって、最大6インチサイズのウェハ上での高精細3Dプリンティングを大幅に効率化できます。この効率の向上は、ウェハスケールのバッチ生産、すなわち研究ラボや産業での製造プロセスにとって特に重要です。ひいては、ライフサイエンス、材料工学、マイクロ流路、マイクロオプティクス、マイクロメカニクス、MEMSなど、様々な研究分野や産業界における、3D微細造形の機会を拡大するものです。

新しいQuantum X shapeは、産業界で実績のあるNanoscribeのQuantum Xプロダクトラインで、マスクレス・リソグラフィシステムQuantum Xに続く2番目の微細造形システムです。
Nanoscribeは、最大面積25cm²に任意のオブジェクトを造形する3Dプリンタとして、Quantum X shapeを発売し、ライフサイエンス、マイクロ流路、材料工学における高度で複雑なアプリケーションのラピッドプロトタイピングを推進します。フォトレジストの自動ディスペンス機能を備えた直立システムで、ライフサイエンス、MEMS、材料工学分野での微細造形や、最大6インチの標準ウェハを用いた産業バッチプロセスに最適な製品です。

最高の精度を実現する3D 微細造形技術

2光子重合(2PP)は、最高の精度と設計自由度を実現するアディティブ・マニュファクチャリングのアプローチです。Quantum X shapeは、以下の機能を備えたクラス最高の3D微細造形システムです。

  • ナノスケールおよびマイクロスケールのプリンティングで、すべての空間方向に最小100nmでフィーチャ・サイズ制御可能
  • メソスケールプリンティングで最大オブジェクトサイズ50mm

精度と速度の相互作用を最適化しプリンティング出力を向上

Quantum X shapeは、他に類を見ない形状の正確さと精度で、高速3D微細造形を提供します。この比類のないプリンティング出力は、産業グレードのパルスフェムト秒レーザを組み合わせた頑丈なグラナイト製プラットフォーム上に、最先端のガルボシステムとスマート・エレクトロニクス・システム制御ユニットを構成することによって実現しています。Quantum X shapeには、ガルボミラーユニットを最適なスキャン速度に加速・減速し、レーザ出力を変調レート1MHzで動的に調整する、先進的なレーザフォーカス軌道制御が搭載されています。
Quantum X shapeには、最小値50nmの精度で基板表面を検出できる独自の自動インターフェースファインダが搭載されています。最高スキャン速度でも提供されるこの比類のないナノスケール精度は、セルフキャリブレーションルーチンと共に、3D微細造形のスタンダードを刷新する、最短時間で信頼性の高い正確なプリンティングを可能にします。Quantum X shapeは、マイクロオプティクス、マイクロ流路、表面工学、MEMSなどのさまざまなアプリケーション分野でのラピッドプロトタイピングやウェハスケール製造に理想的なツールです。

使いやすさを追求したシンプルで便利なワークフロー

フォトレジストの自動ディスペンス機能は、ウェハスケールプロセスや小規模な連続生産などの工業プロセスに有用です。
またQuantum X shapeのユーザーは、デバイス内蔵のタッチスクリーンで、またはリモートアクセスでどこからでもプリンティングジョブをコントロールできます。リモートアクセスソフトウェアnanoConnectXは、タッチスクリーンのすべての機能と表示オプションをユーザーのコンピュータで利用可能にし、接続されたQuantum X shapeのジョブの開始、監視、制御をどこからでも行えます。この機能により、研究グループや部門のメンバーといったユーザーグループ全体で単一のシステムを使用する際に、各自のコンピュータからアクセスすることが可能になります。その結果、ラボでの準備時間を最小限に抑え、プリンティングジョブの準備・実行・監視をより便利に、そしてシステムを共有するグループの協働を大幅に簡素化することができます。

未来のテクノロジーのための3D微細造形の新しいスタンダード

Quantum X shapeは、簡単なワークフローで最高の精度と設計の自由度を備えるラピッドプロトタイピングに最適なツールです。2019年発売の、表面パターニングに特化した最初の2光子グレイスケールリソグラフィ(2GL®)システムであるQuantum Xと並び、新しいQuantumX shapeは3D微細造形の可能性を向上させます。より具体的には、Quantum X shapeは、高精度なアディティブ・マニュファクチャリングを可能にし、また精度と速度のバランスを最適化することで、最高レベルの生産性と品質を実現します。総合的に、業界で実績のあるQuantum Xプラットフォームは、ナノスケールからメソスケールまで最先端の微細造形プロセスを提供し、ウェハレベルのバッチプロセスに好適です。Nanoscribe共同設立者兼CSO(Chief Science Officer)のMichael Thiel博士は、「Quantum X shape の投入により、Nanoscribeは、科学と産業の両用途におけるウェハスケール高精度微細造形の新たなスタンダードを打ち立てました。すでにQuantum Xで、二光子グレイスケールリソグラフィによるフラットマイクロオプティクスの超高速製造を推進していますが、Quantum X shapeによって、二光子重合に基づく高精度3Dプリンティングが、研究所や産業界におけるラピッドプロトタイピングやバッチ生産のための比類のない高い効率性と信頼性を備えたツールとなることを期待しています。」とまとめています。

クラス最速かつ最高精度の3D造形装置にご興味がおありですか?Quantum X shapeの詳細はこちら。

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