新しいQuantum X shapeは、産業界で実績のあるNanoscribeのQuantum Xプロダクトラインで、マスクレス・リソグラフィシステムQuantum Xに続く2番目の微細造形システムです。
Nanoscribeは、最大面積25cm²に任意のオブジェクトを造形する3Dプリンタとして、Quantum X shapeを発売し、ライフサイエンス、マイクロ流路、材料工学における高度で複雑なアプリケーションのラピッドプロトタイピングを推進します。フォトレジストの自動ディスペンス機能を備えた直立システムで、ライフサイエンス、MEMS、材料工学分野での微細造形や、最大6インチの標準ウェハを用いた産業バッチプロセスに最適な製品です。
最高の精度を実現する3D 微細造形技術
2光子重合(2PP)は、最高の精度と設計自由度を実現するアディティブ・マニュファクチャリングのアプローチです。Quantum X shapeは、以下の機能を備えたクラス最高の3D微細造形システムです。
- ナノスケールおよびマイクロスケールのプリンティングで、すべての空間方向に最小100nmでフィーチャ・サイズ制御可能
- メソスケールプリンティングで最大オブジェクトサイズ50mm
精度と速度の相互作用を最適化しプリンティング出力を向上
Quantum X shapeは、他に類を見ない形状の正確さと精度で、高速3D微細造形を提供します。この比類のないプリンティング出力は、産業グレードのパルスフェムト秒レーザを組み合わせた頑丈なグラナイト製プラットフォーム上に、最先端のガルボシステムとスマート・エレクトロニクス・システム制御ユニットを構成することによって実現しています。Quantum X shapeには、ガルボミラーユニットを最適なスキャン速度に加速・減速し、レーザ出力を変調レート1MHzで動的に調整する、先進的なレーザフォーカス軌道制御が搭載されています。
Quantum X shapeには、最小値50nmの精度で基板表面を検出できる独自の自動インターフェースファインダが搭載されています。最高スキャン速度でも提供されるこの比類のないナノスケール精度は、セルフキャリブレーションルーチンと共に、3D微細造形のスタンダードを刷新する、最短時間で信頼性の高い正確なプリンティングを可能にします。Quantum X shapeは、マイクロオプティクス、マイクロ流路、表面工学、MEMSなどのさまざまなアプリケーション分野でのラピッドプロトタイピングやウェハスケール製造に理想的なツールです。
使いやすさを追求したシンプルで便利なワークフロー
フォトレジストの自動ディスペンス機能は、ウェハスケールプロセスや小規模な連続生産などの工業プロセスに有用です。
またQuantum X shapeのユーザーは、デバイス内蔵のタッチスクリーンで、またはリモートアクセスでどこからでもプリンティングジョブをコントロールできます。リモートアクセスソフトウェアnanoConnectXは、タッチスクリーンのすべての機能と表示オプションをユーザーのコンピュータで利用可能にし、接続されたQuantum X shapeのジョブの開始、監視、制御をどこからでも行えます。この機能により、研究グループや部門のメンバーといったユーザーグループ全体で単一のシステムを使用する際に、各自のコンピュータからアクセスすることが可能になります。その結果、ラボでの準備時間を最小限に抑え、プリンティングジョブの準備・実行・監視をより便利に、そしてシステムを共有するグループの協働を大幅に簡素化することができます。