
Mehrstufige diffraktive optische Elemente
Dank der Zwei-Photonen-Graustufenlithografie wird die Herstellung mehrstufiger diffraktiver optischer Elemente (DOEs) mit außerordentlicher Formgenauigkeit in nur einem einzigen Druckschritt möglich. Die nanostrukturierten Oberflächen erfüllen die für DOEs erforderliche hohe laterale und axiale Auflösung im Submikrometerbereich.
Nanostrukturierte DOEs mit exzellenter Präzision
Die klassische Herstellung diffraktiver optischer Elemente (DOEs) ist aufgrund der dafür erforderlichen Lithografie-, Ätz- und Justiervorgängen zeitaufwendig und kostspielig. Mit der additiven Mikrofabrikation werden mehrstufige DOEs in einem einzigen Druckschritt hergestellt. Gedruckte DOEs eignen sich sowohl als funktionsfähige Prototypen wie auch als Master für formgebende Werkzeuge in der Serienproduktion.
Für die Herstellung von DOEs empfehlen wir Nanoscribes Quantum X. Das maskenlose Lithografiesystem erreicht eine hohe laterale und axiale Auflösung wie sie für die Herstellung von DOEs erforderlich ist. Mittels Zwei-Photonen-Graustufenlithografie (2GL ®) stellt Quantum X mehrstufige diffraktive optische Elemente in einem einzigen Druckschritt her. Designs mit bis zu 4.096 Stufen können in einem kosteneffizienten Prozess zu diskreten oder quasi-kontinuierlichen Topografien verarbeitet werden.
Diffraktive Optiken mit bis zu 4.096 Stufen






Diffraktive Mikrooptiken
Spektrum an Einsatzmöglichkeiten
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